Dodávka zariadenia na suché lepenie

Podrobný popis:
- predmetom verejnej zákazky je dodávka zariadenia na suché lepenie
- pre tvarovanie tenkých vrstiev kremíka, oxidov, nitridov a bežne používaných kovov anizotropným leptaním s využitím reaktívnych iónov (Reactive ion etching, RIE). Minimálne technické parametre: veľkosť vzorky min. 100 mm, výkon min. 100W pri frekvencii 13,56 MHz, možnosť nastavenia vákua pomocou prietokového ventilu, plynové prívody s prietokomermi pre min. 3 plyny. V cene zariadenia bude inštalácia a testovanie v reálnej prevádzke.

Lokalita:
- okres Bratislava

Termín pre podanie ponúk:
- 11.06.2015 16:00 hod.

Hodnota:
- 62.453,24 € bez DPH